1�����g����

����•��ԭ�������ȸߣ������L�������Ժá�
0~30000ppmv���������y���@ʾ������*��
ͨ�^�������о�����Ӌ�����aƷ�z����
ϵ�y�߂��Ԅ��������ܣ���Ч�˷��ضȡ���ȵȭh�����ص�Ӱ푡�
��·�_�P��ģ�M��ݔ�����c�C��ϵ�y�o�p���ɡ�
���x�o���󾯹���
���x����CO��CH4��H2S������O�y
���x�ⲿݔ����̖�ӿڣ�ݔ����̖�Ɂ��ԟ��F̽�^���T���_�P��
���xݔ���ӿڣ����F�Ԅ�119��Ĉ󾯡���/ͣ����C��늿��T�ȱ������ܻ����ƹ���
���x����ʽSF6�ܶ��^����Y�ϽM�W���M��*��SF6���wй©�O��ϵ�y
���x�h�̾W�j�M�бO��ϵ�y�\�Р�B��ֱ�ӿ������C��׃�������\��

2���aƷ���c

*�Ĝyԇԭ��
    ϵ�y����•��ԭ�����ɶ��������r�ھ��y��SF6й©���w�������˷��˂��y�y��������ؓ늕���늷����u�؂�������ֻ�ܶ����Єe�Ƿ�Խ�޵�ȱ�ݣ��܉�ʴ_�õ����w��SF6������
�߿ɿ���
    ϵ�y�����p���̎����������Ч�˷��˜ضȡ���Ȍ��y���Y����Ӱ푣������˂��y�aƷ��ȱ�ݡ�
������������
    �O��ܛ������������SF6���w����׃��څ�ݣ�����Ч�����\���O��Ġ�B���������A�����ã��@Ҳ�ǂ��y���ԮaƷ�o�������ġ�
���ؙz�y����
    ��Ҫᘌ�SF6���wй©��ȱ����r�M�Йz�y�������Мضȡ���ȵȭh���������o���z�y���ܣ�*���ϡ�늘I��ȫ����Ҏ�̡�Ҫ��
���ڬF���󾯼��g
    ΢���z�y���g�ܰl�����ڬF�����󣬲�ָʾ���wй©λ�ã����r֪ͨΣ�U���c���ˆT��ɢ�����Ҽ�����й©Դ�����o�\���O�䡣
�F�������OӋ
    һ����|�B�����вɼ��������C���ɷ����ɽM�ϣ����кܸߵĬF���m���ԡ�
���c�M�W�z�y
    zui��128�cͬ�r�z�y���M��F���h����Ҫ����ߙz�y�ɿ��ԡ�
�b�y���b��
    ϵ�yzui�����И˜ʽӿڣ�������ͨ�^RTU���͵��h���������ģ���������Ҳ��ֱ���h�̲�ԃ������ϵ�y�����F�b�y���b�ع��ܡ�
�O��ܛ��
    ���x�䣬���Д����M�B���D�νM�B����������������������vʷ������ԃ�ȹ��ܡ�
�L�����OӋ
    ������Æ�Ƭ�C�Ĺ����`���ԣ���������ȡ�gЪʽ�����y�����������˂������Ĺ��������Ժ�ʹ�É�����
 �vʷ����ӛ䛺Ͳ�ԃ
    ���C���д����������惦�����ɴ惦2�ꔵ����ͨ�^�Pӛ����X�����O�M�п�ݲ�ԃ��
 �t��Oҕ����
    ���x�䣬�z�y�����ˆT�M�빤���������Ԅ��Z����ʾ���r�z�y�Y�����ӏ��F�������ˆT��ֱ�^���X��
��S�o�OӋ
    �M�ĵ�늚��OӋ�����C�o���{���������ߵȼ���*��Ԫ�����x�ã������Ŀ��ɔ_���ܡ�

3�����g����

      SF6�y��ָ��
      �y��������0��30000ppmv
      ���c�����ڜy���������O�ã�Ĭ�J1000ppmv
      �����`�±5%FS
      �؏����`�<5%FS
      ���cƯ�ƣ�<5%FS
      ����Ư�ƣ�<5%FS

      ����y��ָ��
      �z�y��ȣ�0��25%
      �����Ȉ��c��18%
      ����y�����ȣ�<0.4%,O2��21%�r

      ����ָ��
      �ضȜy�������� -25�� ~ +99��
      ��Ȝy�������� 0��99%RH